簡介
一種以電漿光源作為激發源的多元素光譜分析儀(見圖)。
種類
電漿光源有直流等離子光源，電感耦合電漿光源，電容耦合電漿光源。
結構組成
儀器由等離子發生器、霧化室、炬管、分光計、光電檢測系統組成。操作程式，背景校正，數據處理和列印結果都由計算機控制。工作原理
其工作原理是:由高頻發生器（一般為27.12兆赫）提供的高頻能量疊加到炬管外面的線圈上，線圈內通水冷卻，立於線圈當中的同軸型三層石英管，分別通入不同量的氬氣，稱為冷卻氣流，輔助氣流和進樣氣流。點火後炬管端就出現一個氬電漿焰，最高溫度達10000K。試樣在高溫下被激發而輻射出光, 經分光計按一定波長次序分散, 取得一系列線光譜，通過焦平面上安裝的出射狹縫，由光電檢測系統接收，將光譜強度與標準相比較，轉換為元素的含量。
優點
其優點是：分析速度快，干擾少，能同時測定幾十種元素，精密度好，測定下限低（一般為μg/m1或更低），線性範圍寬等特點。在地質學中用於測定岩石、礦石、礦物和地下水中常量、微量、痕量的金屬元素。
