電子抗蝕劑

電子抗蝕劑（electron resist）是用於電子束曝光的一種抗蝕劑，屬於高分子聚合物，其性能類似於光學曝光中的光致抗蝕劑，即輻照可使其產生化學或物理變化而形成圖形。有正性電子抗蝕劑和負性電子抗蝕劑之分。一般，負性電子抗蝕劑的曝光靈敏度比正性電子抗蝕劑的要高得多，但正性電子抗蝕劑的解析度要高於負性電子抗蝕劑。