電位襯度

電位襯度，是在掃描電子顯微鏡中，如果被觀察表面不同微區的電位不同，能量較低的二次電子會從電位低的地方跑到鄰近電位高的地方，使該處檢測器收集到的二次電子減少，得到因電位差異而表現出襯度的二次電子像。在樣品架上裝一個可用於檢測集成塊的特殊樣品台，就可觀察在外加電壓下集成塊各條通路是否有故障。

在掃描電子顯微鏡中，如果被觀察表面不同微區的電位不同，能量較低的二次電子會從電位低的地方跑到鄰近電位高的地方，使該處檢測器收集到的二次電子減少，得到因電位差異而表現出襯度的二次電子像。在樣品架上裝一個可用於檢測集成塊的特殊樣品台，就可觀察在外加電壓下集成塊各條通路是否有故障。