雷射混合氣

概述

氣體雷射器的重要特點之一，雷射工作物質是混合氣或單一純氣體。由於雷射雷射混合氣
[1]混合氣中組分氣的純度直接影響雷射的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致雷射輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起雷射發射的不穩定。因此，對雷射混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行乾燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）雷射作為第一代氣體雷射，二氧化碳雷射是第二代氣體雷射，在半導體製造領域將大量使用的氟化氪（KrF）雷射，可稱為第三代雷射。

參數

常見的雷射混合氣的組成和主要用途：　

類別混合氣組成/（10-2）用途
​H2NeArN2CO2KrFXeCOHCl平衡氣​
氦氖雷射
混合氣​2-8.3​​​​​​​​He用於工業生產，科學研究和國防建設等領域
CO2雷射
混合氣0.4​​​13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-124.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8​​2.0
4.0
2.0
4.0​​主要用於雷射加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鑽孔以及醫療上的雷射外科等
氪氟雷射
混合氣​​​​​5.010.0
1-0.2​​​​用於保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器製造中的石板印刷已開始使用氟化氪雷射
密封束
雷射氣​​​18.5​​​32.5​​作研究用的密封束雷射氣
準分子
雷射氣​25.89.80.004​​1
5
0.2​​
5.0Ar
He
He
Ar準分子雷射器用於醫療上的外科手術

用途

H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡氣氦-氖雷射混合氣　

　1.2.0-8.3He用於工業生產、科學研究和國防建設等領域二氧化碳雷射混合氣　

　2.0.413.513.08.06.016.08-124.57.08.08.016.06-82.04.04HeHeHeHeHeHe主要用於雷射加工、如金屬、陶瓷的切割、焊接與鑽孔以及醫療上用的雷射外科等氪-氟雷射混合氣　

　3.5101-1.2HeHe用於保護膜暴光以及化學反應等領域。貯存器製造中的石板印刷已開始使用氟化氪雷射密封束雷射混合氣。　

　4.18.532.5H2作研究用的密封雷射器準分子雷射混合氣　

　5.25.89.80.004150.25ArHeHeAr準分子雷射器用於醫療上的外科手術