軟X光掃描式光電子顯微鏡

首先將光聚焦成微小光點，然後掃描樣品，每一掃描點作為一像元，一組掃描點的信號經A/D轉換和圖像化處理後得到一組像元，即顯微像。掃描式顯微鏡的解析度取決於微小光點的大小，最大掃描範圍為90微米，位置精度為±0.01納米。當使用Φ50微米前置光闌時，本顯微鏡的解析度經測定為1.2微米。