趙小林[上海交通大學微納科學技術研究院副院長]

上海交通大學微納科學技術研究院副院長趙小林,長期從事微機電系統及細加工技術的研究,多年來,先後完成了十多項重點項目:如國家計委“95”攻關、國家“863”計畫和解放軍總裝備部預研等科研任務。在微機械研究中,套用LIGA、準LIGA、高深寬比光刻等多項技術解決了微馬達、微鉸鏈、微行星齒輪減速器、微光開關、光衰減器等微器件研製方面的技術難點,取得較大成果。作為項目的負責人和主要成員,先後於1992年“薄膜磁頭”獲上海市科技進步二等獎。

人物經歷

男、52歲。現任上海交通大學微納科學技術研究院副院長、微米/納米加工技術國家級重點實驗室主任、總裝微米/納米專業技術專家組成員。

主要貢獻

1995年“電磁型微馬達”獲國家教委發明二等獎。

“實用電磁型微馬達關鍵技術的研究” 1999年獲國家教育部科技進步(發明類)一等獎。

獲獎記錄

2000年獲國家科技發明二等獎。1999年獲國家發明專利一項。

發表論文二十多篇,參與編寫出版教材:積體電路掩膜版製造技術、微光機電系統及相關技術。

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