學院概況
人才培養
上海交通大學微納科學技術研究院設有“微電子學與固體電子學”和“納米材料科學與工程”博士點，“微電子學與固體電子學”碩士點，招收和培養來自不同學科的碩士、博士、博士後，設有“薄膜與微細技術”教育部重點實驗室、“微米納米加工技術”國家級重點實驗室。是學校“211”一期、“211”二期、“985”一期重點投資建設單位之一。
科研業績
自上世紀九十年代中期起，研究院系統地開展微機電系統、三維非矽微加工技術和單電子器件等方向的套用基礎研究，隨後，相繼開展納米電子學及器件、納米探測器和感測器、碳納米管、碳化矽晶須和複合材料、各種納米薄膜、納米超順磁性顆粒、納米超順磁性複合微球、樹形分子、金納米粒子等方向的基礎理論及套用技術研究，取得了一系列國內先進水平的科研成果和重要進展：主要在非矽材料的三維微細加工技術中，兆聲波顯影技術、深層微盲區小孔電鑄技術、微複製技術等微製造技術處於國內領先，成為國內三維非矽材料重要加工和研究基地之一；直徑1mm和2mm的電磁型微馬達、重量0.1克的微型直升飛機、模數0.03直徑2mm的微行星齒輪減速器、MEMS密碼鎖、形狀記憶合金薄膜驅動的微泵，單電子特性的原理型電晶體，金剛石鍍層技術，納米碳管制備及排布技術、納米感測器製備及集成技術、納米壓印曝光技術；納米超順磁性材料可控設備技術、磁熱療技術、材料表面分子設計與修飾等，其中“實用電磁型微馬達關鍵技術研究”獲2000年國家技術發明二等獎、“原位複合法抗紫外聚酯纖維”和“MEMS強鏈及其套用研究”獲2006年教育部技術發明一等獎、“同步輻射空間姿態可調連續變焦超長準直和聚焦系統”獲2006教育部科技獎專利發明一等獎。
科研條件
研究院所屬實驗室面積為5000m2，其中淨化面積1400m2，主要設備：高真空納米薄膜濺射系統、多靶磁控濺射系統、雙面光刻機、反應離子刻蝕儀、掃描電子顯微鏡、電化學分析儀、等離子增強化學氣相沉積儀、電子束蒸發沉積設備、真空熱壓機、俄歇電子能譜儀、表面輪廓儀、氧化擴散爐、4噸18兆去離子水系統、高效液相色譜儀、螢光分光光度計、Zata電位分析儀等設備構成微器件與微系統研究和納米生物醫學與納米器件研究的主要裝備。
科研隊伍
研究院有中科院院士一名，兼職院士二名、長江學者一名，校特聘教授一名、教授（包括研究員3名）14名，副教授14名，博士生導師10名，兼職博士生導師4名；通過來自物理、化學、材料、電子、計算機、精密機械、自動化、生物等學科的多年凝鍊與融合，已形成一支多學科交叉的學術和研究隊伍。
組織機構
學院領導
楊春生
微納科學技術研究院總支書記
許敏忠
微納科學技術研究院總支副書記
趙小林
微納科學技術研究院副院長（主管實驗室）
王慶康
微納科學技術研究院副院長（主管教學）
陳迪
微納科學技術研究院副院長（主管國際交流與合作）
機構職責
教學管理
主管：王慶康
教學秘書：高峰
工作職責：
工程碩士、碩士、博士的招生宣傳、招生、入學、論文及畢業等工作；
博士後入站、出站的管理工作；
工程碩士、碩士、博士每學期的課程安排；
學生的課程選、免、重修工作；
教學行政及學籍管理工作。
科研管理
主管：楊春生
科研秘書：丁文
工作職責：
協助分管院領導做好各項科研項目的申報和管理工作；
縱向項目在各時間段所需要的中期報告、進展情況等的通知以及匯總提交；
對核心期刊、EI、SCI及引用文章的本單位認定和相應的獎勵；
年底核算各研究室上報的科研情況匯總、統計和結算工作；
財務會計。
組織人事宣傳
主管：許敏忠
組織宣傳幹事：季自軍
工作職責：
協助辦公室主任執行招聘和聘任等相關工作；
研究院院教職員工資料庫和組織人事檔案的管理；
組織落實學院院刊網站信息化建設工作；
落實國際化辦學/院級學術活動宣傳組織；
對口學校相關部處，處理完成相關事務性工作。
學生思政
主管：許敏忠
思政教師：季自軍
工作職責：
負責全院研究生思想政治和日常管理工作；
學生黨支部工作和班級組織建設；
入黨積極分子的確定、培養、考察和黨員的發展工作；
研究生入學教育、學生獎懲、畢業生離校教育和就業指導工作；
組織研究生參加學校和院裡的各項文體活動。
辦公服務
辦公室主任：許敏忠
辦公室成員：高峰
工作職責：
協助辦公室主任處理辦公室日常行政工作；
學術會議等的接待工作；
財務出納。
研究對象
微機電系統
隨著MEMS技術的持續進步及其套用領域不斷拓展，微器件和微系統結構複雜性與功能多樣性的趨勢日趨明顯，非矽材料的套用需求也日益增加，由此帶動非矽MEMS材料、微細加工及其套用技術的全面發展，正逐漸形成與目前占主導地位的矽基MEMS相對應的非矽MEMS技術體系。其中，非矽微細加工技術是基礎，非矽MEMS器件與系統技術是關鍵。
得益於材料種類的廣泛多樣性，非矽MEMS技術擁有非常廣闊的發展空間，充分借鑑矽基MEMS技術發展的經驗，合理利用傳統材料科學研究的長期積累，吸收材料科學與先進制造技術的最新進展，非矽MEMS技術的前景將不可限量。
納米生物醫學
納米生物醫學已成為納米科學技術的重要領域之一，其根本原因在於：當代分子生物學的發展正在深刻地改變著人類對疾病發生機制及生命現象的認識，這些認識正在促使傳統的基於器官層次、組織層次的醫療技術，迅速地被基於蛋白質、DNA等分子層次的生物醫學技術取代。納米技術在這一過程中無疑地扮演了一個“工具”的作用，納米技術注重對納米量級分子結構的分析和操縱，可實現對單個或數個生物活性分子的探測、修飾、輸運、傳導等等，從而完成對生理病理現象的精確觀察或調控。納米技術在生物醫學領域的套用，將開闢一片嶄新的天地。
納米加工器件
納米技術及相關設備的研究水平，直接反映了一個國家和地區在該領域的整體發展程度，它構成了納米科技領域的關鍵部分。就目前而言，納米電子工業和尖端機械工業，都依賴與納米製造精確度的不斷進步。納米技術在研究量子力學、化學、機械學、熱力學等領域的新型物理和化學效應中起到了必不可少的作用。這有助於我們更好的理解自然，並在此基礎上創造新的社會生活。眾所周知，新型的物理和化學效應只出現在材料的納米特徵尺寸內，因此，納米結構的材料製造是進行以上各種實驗和研究工作的重要前提，我們正努力在這個領域開展深入的研究工作。
