產品介紹
冷場發射掃描電子顯微鏡m213451是專門為現今技術研究和發展設計的超高解析度儀器 。獨特之處在於使用複合檢測器允許同時顯示二次電子和背散射電子成像。可以以三維立體形態觀察各種物質的原子或分子結構，具有比一般掃描或電子顯微鏡更卓越的性能。HITACHI
m213451在半導體設備和過程評估上也很有用，這種超高解析度的電子顯微裝置可以採用1KV的加速電壓，保證1.8nm的解析度。採用了獨特操作方式減少荷電假象和邊緣效應，這些優異性能使其遠遠領先於其他掃描電鏡。
產品特點
世界上最高解析度的掃描電子顯微鏡
◎ 在30KV保證0.5nm
◎ 在1KV保證1.8nm(在2KV，可得到1.2nm)
2． 獨特的檢測方式可以同時顯示二次電子(SE)和背散射電子（BSE）成像。
穩定的超高解析度的顯微技術
◎ 最大放大倍率1,000,000倍.
◎ 機器穩定性提高，在地面振動條件10mm(P-P)，5HZ條件下可以觀察高達600，000倍的圖像。
◎ 真空乾燥系統，由分子渦輪泵和渦管泵組成，樣品污染最小。
◎ 高速電子束系統減少樣品鏡筒污染。
◎ 大液氮冷阱減少樣品污染。
◎ 側面插入樣的載物台適合高解析度工作
結合高解析度的顯微技術和操作的設計
◎ 不用改變物鏡孔即可切換解析度模式和EDX工作模式。
◎ 可以在所有操作方式（SE，BSE和STEM）間切換，因為樣品位置可變。
5． 電腦控制的系統採集工作，影像處理，儲存等於一體。
6． 節省能量的方式（真空狀態下）保持儀器在低的能量水平運行。
