簡介
超純水最初是美國科技界為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)套用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛套用超純水處理設備 ，採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。
超純水處理設備工藝流程和區別
超純水,是一般純水設備很難達到的程度，通常採用預處理、反滲透技術、超純水處理設備以及後級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm超純水處理設備工作原理
1.主要部分流入樹脂/膜內部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。2.樹脂截留水中的溶存離子。
3.被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。
純水設備 4.陽離子透過陽離子膜，排出樹脂/膜之外。
5.陰離子透過陰離子膜，排出樹脂/膜之外。
6.濃縮了的離子從廢水流路中排出。
7.無離子水從樹脂/膜內流出。
工藝流程
1、採用離子交換樹脂製備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水點2、採用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→後置精密過濾器→用水點
3、採用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水製備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→後置精密過濾器→用水點 三種製備工業用超純水的工藝比較目前製備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種，其餘的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。
工藝優缺點
1、第一種採用離子交換樹脂其優點在於初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸鹼，而且對環境有一定的破壞。2、第二種採用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比採用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸鹼比單純採用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
3、第三種採用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前製取超純水最經濟，最環保用來製取超純水的工藝，不需要用酸鹼進行再生便可連續製取超純水，對環境沒什麼破壞性。其缺點在於初投資相對以上兩種方式過於昂貴。
