內容簡介
超精密氣浮定位工作檯技術超精密定位工作檯技術是集機械學、電子學、光學、計算機控制技術於一體的綜合性技術，為IC製造技術、精密加工技術、精密測量技術等提供精密定位裝置。《超精密氣浮定位工作檯技術——氣浮系統動力學與控制》一書系統闡述了超精密氣浮定位工作檯中的氣浮支承技術、系統動力學、超精密定位運動及其控制等基本理論與方法。
《超精密氣浮定位工作檯技術——氣浮系統動力學與控制》一書的主要內容包括：超精密氣浮支承技術和精密定位耳作台電磁直接驅動的基本理論和技術；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數值計算的理論與方法；超精密氣浮定位工作冶的動力學建模及其動態特性分析；超精密定位工作檯的定位運動分析及其控制方法研究。
《超精密氣浮定位工作檯技術——氣浮系統動力學與控制》一書可作為數字製造設備、精密加工設備、精密測量儀器、生物醫藥裝備等行業科研技術人員的參考書，也可作為高等院校相關專業的研究生教材。
圖書目錄
0 緒論
1 永磁同步直線電動機的基本原理及其控制
2氣浮軸承模型及有限元分析法
3 氣浮軸承動力學建模與參數辨識
4 氣浮軸承動力學性能參數分析
5 超精密氣浮定位工作檯動力學特性研究
6 超精密氣浮定位工作檯定位精度研究
參考文獻
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