內容簡介
薄膜在微電子器件、肱存儲介質和表面封裝等技術套用領域發揮著重要作用，本書全面闡述了薄膜
薄膜材料：應力缺陷的形成和表面演化
中的應力以及因其產生的缺陷形成和表面演化等問題。本書內容兼顧理論、實驗和計算機模擬，適合工程技術人員、材料科學和物理學研究人員閱讀。本書英文版被美國哈佛大學、布朗大學、麻省理工學院、史丹福大學等大學用作研究生教材。
本書總結了過去幾十年里薄膜材料的研究進展，同時將重點放在薄膜中內應力的起源、發展及其影響等諸多方面，書中不僅系統考慮了薄膜一基底系統或多層膜系統的整體變形及薄膜的斷裂、脫層和翹曲，而且還考慮了更小尺度上薄膜中位錯的形成及非彈性變形。薄膜中應力的影響與薄膜材料結構之間的聯繫貫穿於整書的討論。通過舉例計算和有實際意義的實例分析及討論，更加具體地闡明了書中的基本概念，並於每章後附有習題。
目錄
第1章引言和總論
第2章薄膜應力和基底曲率
第3章各向異性和圖形薄膜中的應力
第4章脫層和斷裂
第5章薄膜的翹曲、鼓包和剝離
第6章外延系統中的位錯形成
第7章位錯互動作用和應變弛豫
第8章表面的平衡和穩定性
第9章應力在傳質中的作用
參考文獻
英漢名詞索引
