蓋德電離真空計

蓋德(W.Gaede)是最早使用微分方程法來計算牽引式分子泵的抽氣性能。採用納維一斯托克斯方程(N-S方程),求出牽引式分子泵的抽速、壓縮比與泵的轉速、幾何尺寸關係的解析表達式。

簡介

電離真空計的離子流與壓強關係為線性關係,規管測量上限由規管非線性不超過20%所對應的壓強確定,測量下限由規管本底壓強示值的10倍確定[2]。電離計總的測量範圍為10-8~102Pa,一般說來,每一種結構的規管只能覆蓋一部分。BA計收集極做成針狀,它的X光本底電流小,因而下限可達10-8Pa,是一種超高真空計。它的上限為10-1Pa,燈絲是鎢絲。

DL-2型

真空規管在上世紀50年代在我國生產,它是高真空規管,測量範圍是lO-5~10-1 Pa,鎢燈絲。鎢燈絲在高壓強易氧化而燒斷,規管在10-1Pa工作壽命約1個星期。因而上限不能超過10-1 Pa。70年代研製了DL-5型中真空規管[3]。它的測量範圍是10-4~10 Pa。該規管在國內首先用敷氧化釔銥絲作燈絲,可以在高壓強工作。高壓強規管的幾何尺寸要小,以減小電子在行程中與氣體分子碰撞。後來有人做出_DL-8型規管,它的幾何尺寸比DL-5更小,上限可達100 Pa。熱陰極電離計在壓強大於10 Pa時使用不太合適。在高壓強時發射電流應減小。

發展

上世紀80年代,用敷氧化釔銥絲代替BA計中的鎢絲做出DL-7型BA計規管[4]。它的測量範圍是5×lO-8~10-1 Pa,與鎢絲的BA計相比,它更適合在較高壓強下工作。

同在80年代,有人將敷氧化釔銥絲代替DL-2型規管中的鎢絲,做成DL-9型規管[5],使上限壓強擴展一個數量級,測量範圍為10-5~1 Pa。在研究吸氣劑性能時,應在小發射電流下工作,以減小電離計的吸氣效應。在有害氣氛下工作用小發射電流可以延長燈絲壽命

電離計的誤差為[1]:10-8~10-1 Pa,△=±70%;10-5~10-1 Pa,△=土50%;10-3~10 Pa,△=±50%。

單片機問世後不久,就開始用單片機控制電離真空計[6]。單片機操作代替了原電路中的調零點、調滿偏、調發射、換量程等手工操作,並有諸多功能板,例如RS232串口,模擬量輸出等可與計算機在線上,真空計還可以用單片機設定輸出信號。

相關詞條

相關搜尋

熱門詞條

聯絡我們