簡介
真空規管,真空規管就是測量真空度的感測器。真空規管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環境的真空度。主要套用於真空環境的真空度測量領域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作,真空冶煉等。
規管的分類
1、熱偶規
目前國內的熱偶規主要有51系列,53B/54D等。主要套用於低真空測量。
2、皮拉尼系列(電阻規管)
目前國內的電阻規型號主要是52T系列。主要以用於粗低真空測量。
PG-500 配合表頭使用
PG-600 通訊型 數位訊號直接接入PC機
PG-700開關型 可以直接設定控制點,進行控制
3、熱陰極規管
主要型號有ZJ-2系列,ZJ-10系列,ZJ-27系列,B-A規等。
該型規管主要套用於高真空測量。
4、冷陰極規管(冷規)
如磁控規等