簡介
莊惠照,副研究員,微電子學與固體電子學碩士研究生導師,從事半導體物理與器件的研究開發、研究生教學及培養等工作,在本研究領域內具有系統紮實的理論基礎和專業知識,多年以來辛勤耕耘、教書育人。
科學研究
1990年至1995年承擔完成國家“八五”攻關項目《超大規模積體電路封裝技術研究》,子專題《85-705-04-01VLSI矽片背面金屬化研究》,1995年通過國家級鑑定,1996年獲重大成果獎(首位)。
1992年至1995年承擔完成省科委《大台面電力半導體玻璃鈍化技術研究》項目,1995年通過省級鑑定,1997年獲山東省科技進步二等獎(首位)。
1997年至2000年承擔完成《高氣密四十線VLSI玻璃陶瓷熔封技術研究》項目(首位),2002年通過省級鑑定。
2001年至2004年承擔完成省教委《複合納米鈍化保護材料新研究》項目(首位),2006年通過省級鑑定。