膜片閥

其工作原理是由與手輪一起轉動的閥桿將閥頭壓下，使閥關閉。 膜片將介質與大氣隔開。 可供高純氣體系統用。

membrane valve
其工作原理是由與手輪一起轉動的閥桿將閥頭壓下，使閥關閉。靠彈簧和氣壓將閥頭抬起，使閥開啟。
膜片將介質與大氣隔開。
其優點是密封性好，可靠，死區小，其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易於排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質中。
可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。
膜片式截止閥工作壓力可達21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s。
可供高純氣體系統用。