積體電路晶片製造實用技術

積體電路晶片製造實用技術

積體電路晶片製造實用技術，作者：盧靜主編，其於2011年9月1日在機械工業出版社出版。

基本信息

內容簡介

積體電路晶片製造實用技術

本書根據職業教育要求和職業類學生特點編寫，以積體電路晶片的製造工藝流程為主線，涵蓋了積體電路晶片製造的主要技術。全書共分9章，內容包括了概述、矽晶圓製程、矽晶薄膜製備、氧化工藝、摻雜工藝、光刻工藝、刻蝕製程、晶片封裝、積體電路晶片品檢。內容覆蓋面較寬，淺顯易懂,減少理論部分，突出實用性和可操作性，內容上涵蓋了部分工藝設備的操作入門知識，為學生步入工作崗位奠定了基礎。

本書適合高等職業教育電子類專業學生使用，也可以作為本科電子類學生的專業選修教材。

目錄

出版說明

前言

第1章　概述

1.1積體電路的發展歷程

1.2積體電路晶片製造工藝流程

1.2.1外延工藝

1.2.2擴散工藝和離子注入技術

1.2.3氧化工藝

1.2.4光刻工藝

1.2.5刻蝕技術

1.2.6薄膜澱積工藝

1.2.7測試

1.2.8封裝

1.3積體電路的生產環境

1.3.1淨化標準

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