種類
示蹤氣體是在研究空氣運動中，一種氣體能與空氣混合，而且本身不能發生任何改變，並在很低的濃度時就能被測出的氣體總稱。
示蹤氣體包括：氟仿、二氧化氯、過氧乙醯硝酸酯、氮氧化物、二氧化硫、氡、汞。由於示蹤氣體的總量很小，因此他們的變化幅度可以非常大。目前空氣成分中變化最大的是二氧化碳，工業化開始後其濃度增加了約40%。
性質及選用
在示蹤氣體測量實驗中，因示蹤氣體直接決定氣體分析儀的種類及實驗中釋放氣體所需費用，示蹤氣體的選擇非常重要。根據示蹤氣體測量技術的使用場所和使用特點，對示蹤氣體有如下要求： (1) 無毒無腐蝕性，不易燃易爆； (2) 不與周圍氣體和物質發生化學反應，不易凝聚，不溶於水，即具有穩定性； (3) 能夠方便的被檢測出來，檢測手段簡單，費用低而且具有較高的精度，即具有可瀏性J (4) 密度與空氣接近，密度差比較小，不會出現示蹤氣體濃度垂直分布明顯分層現象； (5) 示蹤氣體在大氣中的背景濃度比較低，對實驗數據的干擾小。
檢漏方法
採用示蹤氣體進行檢漏的操作步驟如下：
1、將示蹤氣體調壓閥調整至適當壓力。如果將一個正確調校的噴嘴浸人水中，每秒會產生2 -5 個氦氣氣泡。
2、任何時候都應該首先檢查真空系統內待消零部件與質譜檢漏儀測試氣口之間的所有管道（如配件、管路等）連線情況。
3、從系統或零部件的最高點向下開始檢測，從而減少氣體的漂移。切記，氨氣是一種很輕的氣體，會上升。
4、大面積漏氣檢查。
將探頭在所有的表面、接頭和管道上迅速移動，然後在大面積區域上噴撒氦氣。如果檢漏儀無任何反應，則說明系統是真空密封的，無漏氣現象。如果檢漏儀有反應，則應等待檢漏儀恢復（抽空氦氣），然後再確定漏孔位置。
注意：噴撒過量氦氣將會使真空室內空氣的背景含量升高，從而導致質譜檢漏儀的基數增加。如果真空室外面噴撒了過量氨氣，可以利用壓縮空氣將其驅散。如果真空系統內部氨氣飽和，則應採用氮氣或氬氣進行沖洗。
5、縮小漏孔範圍的方法（局部定位漏孔）
