內容簡介
《矽材料檢測技術》主要介紹了半導體矽材料常規電學參數的物理測試
矽材料檢測技術方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、矽單晶中氧和碳含量的測定方法。《矽材料檢測技術》還介紹了多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的製備及高純分析方法。
為了確保測試數據的準確性，對矽材料常規物理參數測試的測準條件作了詳細的分析介紹。對先進的測試技術作了一般的介紹。《矽材料檢測技術》是矽材料技術專業的核心教材。
《矽材料檢測技術》可作為高職高專矽材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。
圖書目錄
第1章矽單晶常規電學參數的物理測試1
11半導體矽單晶導電類型的測量1
12半導體矽單晶電阻率的測量7
1.3 非平衡少數載流子壽命的測量19
本章小結37
習題37
第2章化學腐蝕法檢測晶體缺陷38
21半導體晶體的電化學腐蝕機理及常用腐蝕劑38
22半導體單晶中的缺陷42
23矽單晶中位錯的檢測49
24矽單晶中漩渦缺陷的檢測55
25化學工藝中的安全知識61
26金相顯微鏡簡介62
本章小結63
習題64
第3章半導體晶體定向65
31晶體取向的表示方法65
32光圖定向72
33X射線定向76
本章小結88
習題88
第4章紅外吸收法測定矽單晶中的氧和碳的含量、多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗89
41測量原理89
42測試工藝和方法93
43測準條件分析95
44多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗97
本章小結99
習題100
第5章純水的檢測101
51純水在半導體生產中的套用101
52離子交換法製備純水的原理102
53離子交換法製備純水105
54純水製備系統主要設備及工作原理107
55純水製備系統運行控制115
56純水製備系統的清洗116
57高純水的檢測119
本章小結121
習題121
第6章高純分析方法122
61三氯氫矽中痕量雜質的化學光譜測定122
62三氯氫矽(四氯化矽)中硼的分析124
63三氯氫矽(四氯化矽)中痕量磷的氣相色譜測定126
64工業矽中鐵、鋁含量的測定128
65露點法測定氣體中的水分131
66氣相色譜法測定乾法H2的組分133
67氯化氫中水分的測定136
68液氯中水分的測定137
本章小結138
習題138
第7章其他物理檢測儀器簡介139
71X射線形貌技術139
72質譜分析140
73中子活化分析141
74電子顯微鏡142
參考文獻144
