內容介紹本書介紹了超大規模積體電路模擬中小尺寸MOS器件模型及模型參數的提取,書中從基本半導體器件物理和pn結理論入手,順序介紹了MOS電容理論,不同的MOSFET模型(直流模型、動態模型、熱載流子效應模型等),以及工業上通用的標準電路模擬軟體——伯克利SPICE中採用的二極體模型和MOSFET模型,同時還討論了數據測量、模型參數提取,以及由工藝引起的模型參數統計變化。本書可供從事MOSFET器件模型、模擬和ICCAD研究的科技工作者,以及大學微電子專業的教師及高年級學生閱讀參考。