一) 對潔淨室工藝管道管材的要求:
1) 純化水、注射用水和純蒸汽的管道應是316L不鏽鋼電拋光管,Ra 值 <0.5 mm。
2) 管材需提供熔煉爐號、製造號、製造材料,熔煉爐號在安裝現場應可見。
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