漳州市合縱鍍膜材料科技有限公司

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平面靶 平面靶 平面靶

基本信息

公司簡介:

漳州市合縱鍍膜材料科技有限公司由北京合縱公司和廈門科技投資公司共同組建而成,是一家集生產、研發與銷售於一體的鍍膜材料生產企業。經過北京公司十幾年積累的雄厚技術和設備優勢,恰逢國家“十二、五”海西經濟開發的宏偉規劃,公司開始新的飛躍,公司將總部遷往福建省華安經濟開發區九龍工業園,總投資2個億,占地180畝。

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公司秉承“客戶第一”的傳統,合和各方英才,聚集了一批教授級專家、博士、碩士和市場行銷人才,為客戶提供質量穩定的產品、合理的價格和優質的服務。公司具有豐富研發經驗的團隊,正不斷地為客戶的生產創新而努力著……

十幾年來,北京合縱充分利用自己的技術優勢與北京多所專業院校的資源優勢相結合,不斷為客戶研製出多種新型材料。漳州合縱不僅延續了北京合縱的研發優勢,更有獲得國家科學技術進步一等獎的高端人才及多位專業從事材料和薄膜研究的博士、碩士加盟。

主要產品和分類

1.金屬及合金靶材  

平面靶旋轉靶

2.陶瓷靶材

平面靶旋轉靶

3.非金屬靶材  

平面靶旋轉靶

靶材的主要性能要求

純度
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際套用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,矽片尺寸由6”,8“發展到12”,而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而製備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質含量
靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對鹼金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對於同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

公司動態

1、2011年10月25日至10月27日漳州合縱鍍膜材料科技有限公司參加了2011第八屆中國(北京)國際玻璃工業展覽會,圓滿完成了首次在行業和公眾面前的亮相。
2、2011年11月16日-18日,SIPEF2011上海國際太陽能光伏博覽會在上海舉行,漳州合縱鍍膜材料科技有限公司應邀參加,在展會上得到了客戶的熱情關注。
3、2012年4月2日至5日,漳州市合縱鍍膜材料科技有限公司攜旗下AZO、矽鋁等靶材參加了在上海新國際博覽中心舉辦的第23屆中國國際玻璃工業技術展覽會。

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