概述
深紫外雷射科研裝備中科院成功研製的8台國際首創新型深紫外雷射科研裝備，分別是：
1、深紫外雷射拉曼光譜儀
2、深紫外雷射光化學反應儀
3、深紫外雷射光發射電子顯微鏡
4、深紫外雷射光致發光光譜儀
5、深紫外雷射自旋分辨角分辨光電子能譜儀
6、光子能量可調深紫外雷射光電子能譜儀
7、深紫外雷射原位時空分辨隧道電子譜儀
8、基於飛行時間能量分析器的深紫外雷射角分辨光電子能譜儀。
科研情況
深紫外雷射科研裝備總投資1.8億元人民幣的深紫外固態雷射源前沿裝備研製項目，2008年啟動實施以來進展順利。
前沿裝備
中國科學院整合麾下多家研究所科研資源成功研製的深紫外固態雷射源系列前沿裝備由三大部分組成，包括深紫外非線性光學晶體與器件平台、深紫外全固態雷射源平台以及基於這兩個平台研製的8台國際首創的新型深紫外雷射科研裝備。同時，項目核心器件深紫外晶體及器件已實現小批量生產，並初步打造出中國“晶體－光源－裝備－科研－產業化”的自主創新鏈。
研製平台
在成功研製8台重大儀器設備的同時，還搭建有深紫外非線性晶體和器件研製平台、深紫外固態雷射器研發平台和深紫外套用儀器開發平台，核心器件深紫外晶體及器件已實現小批量生產，為儀器設備後續發展尤其是產業化工作奠定了基礎。
產業化開發
中科院現已啟動深紫外儀器設備產業化開發工作，計畫逐步推向市場。同時，深紫外固態雷射源前沿裝備研製項目在順利完成一期任務基礎上，二期工作也啟動實施，將研製大動量極低溫深紫外雷射光電子能譜儀、深紫外雷射調製反射光譜儀等6台國際領先水平的儀器設備，推動深紫外技術深度開發。
意義
這些儀器設備的研製成功及在石墨烯、高溫超導、拓撲絕緣體、寬禁帶半導體和催化劑等研究中獲得的重要成果，使我國深紫外領域的科學研究水平處於國際領先地位，並在物理、化學、材料、信息等領域開創了一些新的多學科交叉前沿。該項目取得的研究成果屬於原始創新工作，具有重要意義，並對繼續開拓深紫外雷射的套用具有十分重要的意義。
