油擴散真空泵

油擴散真空泵是指擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，並被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮後再由前級泵排除。
產品標準主要有：
SJ1776-1981《CK-100～600超高真空金屬油擴散泵結構型式與參數系列》
SJ1777-1981《CK-100～600超高真空金屬油擴散泵技術條件》
SJ1778-1981 《 CK-100～600超高真空金屬油擴散泵試驗方法》
產品的極限壓力可達到0.000000005-0.0000000005托。