氯氫化

利用四氯化矽生產三氯氫矽從技術路線上看，氯氫化技術比熱氫化技術更為理想和先進。 它是將四氯化矽、氯化氫、氫氣與矽粉在500℃溫度下反應生成三氯氫矽。 氯氫化技術成功地將多晶矽生產過程中副產的四氯化矽、氯化氫、二氯矽烷轉化為三氯氫矽，實現了多晶矽生產的密閉循環，避免了污染物排放，是一種理想的生產技術。

利用四氯化矽生產三氯氫矽從技術路線上看，氯氫化技術比熱氫化技術更為理想和先進。它是將四氯化矽、氯化氫、氫氣與矽粉在500℃溫度下反應生成三氯氫矽。該技術具有以下優點：裝置單一、投資小、占地少；反應溫度低、操作穩定；對原料純度要求低，多晶矽生產過程中副產的二氯矽烷可與四氯化矽發生反歧化反應生成三氯氫矽；轉化率高、能耗低，每生產1噸三氯氫矽耗電850～1000千瓦時。
氯氫化技術成功地將多晶矽生產過程中副產的四氯化矽、氯化氫、二氯矽烷轉化為三氯氫矽，實現了多晶矽生產的密閉循環，避免了污染物排放，是一種理想的生產技術。