氬氣純化循環

原理：

氬氣是大規模工業生產單晶矽,手套箱的保護氣，它的要求之高，是控制經營成本必須重視的一個重要方面。
將排出含有雜質的氬氣，除去固體雜質，經緩衝罐進入氬氣壓縮機升壓,，經氬氣純化設備。採用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為淨化劑，在一定溫度下，吸氣劑可於氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩定的化合物或固溶體，從而達到對氬氣精製的目的。最後將淨化後的氬氣送入使用地點.

構成：

1 過濾器
2 壓縮機
3 氬氣純化
6 電氣控制箱