相關詞條
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靶材
鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材...
材質分類 發展 製作工藝 套用領域 -
磁控濺射靶材
1. 鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn 2.
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濺射靶材
濺射靶材的要求較傳統材料行業高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙...
基本信息 主要套用 -
次氧化鋅
次氧化鋅是冶鋅工業廢渣中主要富鋼廢渣之一,因其主要成分為次氧化鋅(Zn2O, Zinc bypoxide)及氧化鋅(ZnO,Zincoxide)而得名。...
基本信息 介紹 主要來源 化學組成 綜合回收工藝 -
真空鍍膜
%)金屬靶材碳靶(C靶)、鎳靶(Ni靶)、鈦靶(Ti靶)、鋅靶(Zn靶)、鉻...靶、鎳鉻靶、銅銦鎵靶、鋁矽靶NiCr靶等金屬靶材。陶瓷靶材2.陶瓷靶材ITO靶、AZO靶,氧化鎂靶、氧化鐵靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、硫化...
基本介紹 蒸發鍍膜 濺射鍍膜 離子鍍 參考書目 -
鍍膜
(純度:99.9%-99.999%)1.金屬靶材:1. 金屬靶材:鎳靶...靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。2. 陶瓷靶材ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化矽靶、碳化矽靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶...
簡介 套用 材料 原理 工藝流程 -
AZO
的惰性氣體(Ar)的同時,在陰極靶材下面放置了100~1000Gauss...轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜...電離出大量的氬離子轟擊靶材,經過多次碰撞後電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線...
德國公司 化學混合物 半導體材料 製備方法 磁控濺射 -
中華人民共和國國家自然科學獎
獎項歷史1956年1月,中國提出了“向科學進軍”的口號,同年第一次頒發國家自然科學一等獎,有3位科學家獲此殊榮,他們就是華羅庚、...
獎項歷史 獎項設定 組織流程 獎勵情況 -
楊曄[中國科學院寧波材料技術與工程研究所研究員]
and Technology專利1. 一種氧化鋅基濺射靶材的製備方法2. 一種氧化鋅基陶瓷濺射靶材的中溫製備方法3. 一種共摻雜的納米氧化鋅粉體及製備方法4. 一種...陶瓷靶材產業化 中科院院地合作項目5、高性能ZnO基濺射靶材產業化 成果...
人物簡介 研究方向 論文專利 專利 研究項目