氣體裂化器管用於熱裂化在抵達基板前必須激活的氣體。氣態源分子束外延磊晶生長(MBE)包括V族氫化物和III族有機金屬氣態源。氣體裂化器具備常見的單個燈絲蒸鍍瓶加熱器用於輻射加熱鉭或PBN裂化管。使用擋板可增強裂化效率。
氣體裂化器管用於熱裂化在抵達基板前必須激活的氣體。氣態源分子束外延磊晶生長(MBE)包括V族氫化物和III族有機金屬氣態源。氣體裂化器具備常見的單個燈絲蒸鍍瓶加熱器用於輻射加熱鉭或PBN裂化管。使用擋板可增強裂化效率。
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