優點
（1）壓力高（一般在20～40kg/c㎡），可實現較大的驅動力，機構可做得輕小、緊湊。（2）無級變速、定位精度高，可實現任意中間位置的停止。系統的固有振動頻率高，壓力、容量調節容易。
（3）重量小、慣性小，可做到經常快速且無衝擊的變速和換向，容易控制，動作平穩，遲滯小。
（4）有良好的潤滑性能、壽命長。
（5）採用伺服型定位控制方式，達到連續軌跡控制方式。
（6）可把直線油缸直接地做成手臂的一部分，結構簡單，剛性好。
缺點
（1）需配備壓力源，管路系統複雜，成本較高。（2）油溫的變化影響液壓系統的性能，不適於高溫或低溫的環境。
（3）對中型高速動作的機械手，如需實現聯動，則油泵、電機和油箱都較大，增加了系統壓力，密封困難。
元件
在機械手液壓系統中任何油缸工作時，都有一定的輸出力（或力矩）、運動速度和方向。凡控制油缸輸出力大小、運動速度和運動方向的元件稱為閥，其分類如下：1、壓力閥
實現機械手所需輸出力（或力矩），它包括溢流閥、減壓閥、案例閥、順序閥和壓力繼電器。
2、流量閥
控制流量大小，實現機械手執行機構所需的運動速度。如節流閥、調速閥。
3、方向閥
有減壓閥與節流閥串聯，保證節流閥進出口壓力差趨於穩定，使流量不受外界負荷變化的影響。常用有二位三通及三位四通電磁換向閥。
