特點
用穩頻的氦氖雷射器作為光源，由於它的相干長度很大，干涉儀的測量範圍可以大大的擴展；而且由於它的光束髮散角小，能量集中，因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變為電訊號，並由計數器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與製造的以氦氖雷射器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑑定完畢，精度達到±0.2μm，這就是雷射干涉儀的成功例證。
適用範圍
但是這種單頻的雷射儀並非完美，它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重，在測試環境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在於它是一種直流測量系統，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。雷射干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來，而如果雷射束強度發生變化，就有可能使光電信號低於計數器的觸發電平而使計數器停止計數，使雷射器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，工具機油霧，切削屑對光束的影響，結果光束髮生偏移或波面扭曲。這種無規則的變化較難通過觸發電平的自動調整來補償，因而限制了單頻干涉儀的套用範圍，只有設法用交流測量系統代替直流測量系統才能從根本上克服單頻雷射干涉儀的這一弱點。而雙頻雷射干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻雷射干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻雷射干涉儀一樣，雙頻雷射干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器，所不同者，一方面是當可動稜鏡不動時，前者的干涉信號是介於最亮和最暗之間的某個直流光平，而後者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號；另一方面，當可動稜鏡移動時，前者的干涉信號是在最亮和最暗之間緩慢變化的信號，而後者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結果依然是一個交流信號。因而對於雙頻雷射干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。由於這一特點，雙頻雷射干涉儀可以在恆溫，恆濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型工具機的刻度進行標定，既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手錶零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用於特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
