英文名稱
柯氏干涉儀是德國人W.柯斯特爾大約於1923年設計的，於 1927年製成。 用絕對測量法測量的精確度可達[0408-01]微米，L為被測長度（毫米）。
原理
柯氏干涉儀光學系統的光路。由氪燈發出的光線經聚光鏡、反射鏡、狹縫和透鏡後成為平行光，又經色散稜鏡組（也稱單色器）分光成為紅、黃、黃綠和紫色4種譜線的單色光(氦光能分為6種譜線的單色光)。單色器是可以轉動的，隨轉動后角度的變化,上述4種單色光分別進入干涉場。單色光由分光鏡分為兩路:一路透射到量塊和平晶測量面上,再反射回來；一路反射後經補償透鏡由參考鏡反射回來。這兩路光在分光鏡上會合。這兩路光的光程差產生兩組干涉條紋。這兩組干涉條紋間的偏移距離X和干涉條紋寬度B的比值，即為量塊全長干涉條紋總數的小數部分。利用小數重合法即可得出量塊全長的尺寸。上述測量方法屬於絕對測量，因此有人又稱柯氏干涉儀為絕對光波干涉儀。此外也可用相對法測量，即測出被測量塊與高一“等”量塊的差值。柯氏干涉儀的最大量限為125毫米（絕對法）和200毫米(相對法)。當採用雙參考鏡法時，則可測量到1000毫米。由於光波波長是按真空條件或標準狀態計算的，故需要根據測量時的溫度、濕度和大氣壓力等進行空氣折射率修正，以保證測量精確度。
