晶體中的缺陷是指原子排列周期性受到破壞的區域。具有本徵缺陷的晶體,是指那些雖然不含有外來雜質,但其結構仍然不完善的晶體。這類晶體的不完善性表現為以下幾種情況:(1)晶體中各組分偏離化學比;(2)點陣格位上缺少某些原子;(3)在格位間隙的地方存在有間隙原子;(4)一類原子占據了另一類原子該占據的格位。這樣就在晶體中相應地形成了空位缺陷、間隙原子缺陷、和位錯缺陷等。本徵缺陷主要是指空位缺陷和填隙缺陷以及錯位原子所造成的缺陷。
最早發現的一種非整比化合物是方鐵礦FeO,在加熱方鐵礦時,可能失去部分正離子,同時帶走兩個電子,從而在原來正離子格位處形成一個正空位缺陷。當某些具有平均能量大的原子,其能量足夠大時,可能離開其平衡位置而擠入晶格間隙中,成為間隙原子;而原來的格位位置變成空位。這種一對對的間隙原子和空位也是在運動中,或複合,或運動到其他位置上去。這種在晶體中同時產生的一對間隙原子和空位也是本徵缺陷,叫做弗倫克爾缺陷。如果晶體表面上的原子受熱激發,發生不完全的蒸發到表面以外稍遠一些,在原來的位置上就會產生空位,總起來看就像空位從晶體表面向晶體內部移動一樣,這種缺陷叫作肖特基缺陷。