替位式雜質

雜質原子進入半導體矽以後，雜質原子取代晶格原子而位於晶格點處，稱為替位式雜質。
右圖表示矽晶體平面晶格中間隙式雜質和替位式雜質的示意圖。途中A為間隙式雜質，B為替位式雜質。