簡介
能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息並將其轉變為電信息的特種電子元件。能敏銳地感受某種物理、化學、生物的信息並將其轉變為電信息的特種電子元件。這種元件通常是利用材料的某種敏感效應製成的。敏感元件可以按輸入的物理量來命名,如熱敏(見熱敏電阻器)、光敏、(電)壓敏、(壓)力敏、磁敏、氣敏、濕敏元件。在電子設備中採用敏感元件來感知外界的信息,可以達到或超過人類感覺器官的功能。敏感元件是感測器的核心元件。隨著電子計算機和信息技術的迅速發展,敏感元件的重要性日益增大。特性
敏感元件按輸入與輸出關係可歸納為兩類:一類是緩變型,另一類是突變型。前者的輸出信號在一較寬的範圍內隨輸入信號的增大而逐漸增加或減小(圖1曲線1和2),後者在輸入信號的某個很窄的範圍內有突變反應, 在此範圍外變化較小(圖1曲線3和4)。對敏感元件的基本要求是:靈敏度、穩定性和可靠性高,互換性和生產重複性好,在某些情況下還要求有高的回響速率。
分類
光敏電阻器 電阻值隨入射光(一般指可見光)強弱而變化的敏感元件。通常入射光增強時,電阻值下降。光敏電阻器對入射光的回響與光的波長和所用材料有關。製造光敏電阻器的材料主要是鎘的化合物,如硫化鎘、硒化鎘和兩者的共晶體──硫硒化鎘。其次還有鍺、矽、硫化鋅等。光敏電阻器用於光強控制、光-電自動控制、光-電開關、光-電計數、光-電安全保護和煙霧報警器等方面。
力敏元件 電參數隨外界壓力改變而變化的敏感元件。力敏元件種類繁多,如電阻式、電容式、壓電式等。最常見的是金屬應變計和半導體應變計。金屬應變計是受外力的作用使金屬箔和金屬絲伸長或縮短,使電阻值發生變化來完成信息轉換功能的。應變材料多採用銅、鎳等金屬和合金。半導體應變計是利用半導體材料的壓阻效應製成的。圖2表示N型矽的電阻值隨壓強的變化。由圖2可見,在壓強約為20吉帕以下時,N型矽的電阻值隨壓強的變化呈線性。利用這一線性段可製成半導體應變計。半導體應變計又可分為體型和擴散型兩種。擴散型半導體應變計利用半導體平面工藝製成,性能優良,具有很大的發展前途。力敏元件的基本參數為靈敏度,即電阻值的相對變化量與應變數的比值。金屬應變計的靈敏係數為2~3,而半導體應變計的靈敏係數為 20~200。力敏元件可用來測量壓力、位移、扭矩、加速度、氣壓、氣體流量等力學量。
磁敏元件 一種磁電轉換元件,包括霍爾元件、磁阻元件、磁敏二極體、磁敏電晶體等。霍爾元件也稱為霍爾發生器,是利用霍爾效應製成的半導體器件。霍爾元件的磁靈敏度用某一給定控制電流條件下的霍爾電壓與磁感應強度的比值為單位。磁阻元件是利用半導體材料的磁阻效應工作的。它的磁靈敏度稱為磁阻係數,即磁阻元件在某一磁場強度下的電阻值與零磁場時電阻值之比。利用磁場為媒介,磁敏元件可用於測量位移、振動、壓力、角度、轉數、速度、加速度、流量、電流、電功率等物理量。
氣敏元件 電參數隨外界氣體種類和濃度變化而變化的敏感元件。氣敏元件的氣敏效應機理尚處於探索階段。一般認為,氣體的吸附和解吸會導致半導體表面能帶結構的畸變,使巨觀電阻值發生變化。半導體氣敏元件靈敏度高、結構簡單、使用方便、價格低廉,自60年代問世以來發展迅速。許多氧化物材料如ZnO、SnO2、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO等都有氣敏效應。一般最常用的氣敏材料有SnO2和ZnO,它們的檢測靈敏度和溫度有關。氣敏元件的主要套用領域在防災報警、防止公害、檢測計量等方面。
濕敏元件 電參數隨環境濕度變化而變化的敏感元件。濕敏元件包括電解質濕敏元件、有機高分子膜濕敏元件、金屬氧化物濕敏元件和陶瓷濕敏元件等。濕敏電阻器的靈敏度以相對濕度變化 1%時的電阻值變化率來表示。多數濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而減小,這類濕敏電阻器稱為負特性濕敏電阻器。也有少數濕敏電阻器的電阻值隨濕度增加而增加。濕敏元件主要用於濕度測量和控制,按測濕範圍可分為高濕型、低濕型、全濕型三類。它在氣象、食品、紡織、輕工部門和環境空調、倉庫設施中獲得廣泛的套用。
緩變型跟突變型敏感元件按輸入與輸出關係可歸納為兩類:一類是緩變型,另一類是突變型。前者的輸出信號在一較寬的範圍內隨輸入信號的增大而逐漸增加或減小(圖1曲線1和2),後者在輸入信號的某個很窄的範圍內有突變反應,在此範圍外變化較小(圖1曲線3和4)。對敏感元件的基本要求是:靈敏度、穩定性和可靠性高,互換性和生產重複性好,在某些情況下還要求有高的回響速率。