快速退火

一種快速退火裝置，其特徵在於包括：一外殼，以維持一密封的反應室；一樣品置放裝置，用以置放一待退火的樣品；一加熱裝置，利用一加熱源產生熱能，以對該樣品加熱；一冷卻裝置，利用一冷卻手段以使該樣品降溫；一加壓裝置，利用控制至少一氣體進出閥，以使該反應室維持於所需的壓力；一傳送裝置，利用一與反應室外隔絕的功力傳送手段，可將該樣品置放裝置移近、移入、及移離該加熱裝置；及一控制裝置，用以控制該加熱裝置、冷卻裝置、加壓裝置及傳送裝置。　

將化學自組裝法製備的FePt薄膜進行快速退火，利用X射線衍射儀和振動樣品磁強計對薄膜的結構和磁性進行了研究。實驗結果表明，在850ºC退火30s後，FePt薄膜已經基本上完全有序化，FePt顆粒的晶粒尺寸較製備態略有增大。此外，FePt薄膜快速退火時,在相對較低的真空度下不會發生氧化。