內容介紹
《微系統設計》將多學科的基礎知識有機聯繫起來，帶領大家進入微系統設計世界。這些知識是工作在MEMS領域的工程師所必不可少的。
全書涉及的主題範圍廣泛，包括：微加工技術、機械學、熱流理論、電子學、噪聲、帶反饋或不帶反饋的系統動力學等。因為很難簡要地闡明“優良”設計的基本原理，《微系統設計》以提供一組實例研究的方式進行組織，這些實例研究或者基於真實的產品，或者基於已發表在文獻中的產品原型。
實例研究的選擇範圍是那些具有多方面代表性的範例：不同的加工製作方法，不同的套用領域，在換能方式上運用不同的物理效應。實例研究的主要對象是下列器件的設計與封裝：壓阻式壓力感測器、電容式加速度計、利用石項壓電驅動與感測的陀螺儀、兩種靜電致動光投影顯示器、兩種DNA擴增微系統以及一種用於可烯氣體測量的催化感測器。
《微系統設計》是麻省理工學院研究生課程“微機電系統設計與製作”的教材，適合高年級本科生和研究生學習MEMS使用，也可作為MEMS專業人士的參考書。
第一章都含有家庭作業和相關閱讀文獻作為教材的補充。《微系統設計》還有一個專門的Web網站對其提供支持，其上放有更多的家庭作業、練習和一些推薦的設計習題，以及一些有關《微系統設計》例題、家庭作業習題方面的教學資料。
作品目錄
第一部分 基礎知識
第1章 引言
第2章 MEMS設計方法
第3章 微製造技術
第4章 工藝集成
第二部分 建模策略
……
第三部分 特定領域的細節
……
第四部分 電路與系統問題
……
第五部分 實例研究
……
附錄A 參數符號表
附錄B 電磁場
附錄C 立方材料的彈性常數
參考文獻
