內容介紹
微型機械，即微機電系統（micro electronmechanical system），是20世紀末興起的、2l世紀初快速發展的高科技前沿領域。《微型機械導論》共11章，較全面、系統地介紹了微型機械及其發展歷史，怎樣製作微型機械。用通俗易懂的語言，分別介紹了用傳統的超精密加工方法、半導體工藝加工方法和一些有發展前景的加工方法，特別對最常用的矽的體微型機械加工和表面微型機械加工做了較詳細的介紹；介紹了微型感測器、微型執行器和微系統以及典型的實例；重點介紹了微型機械的設計、建模和檢測技術；展望了微型機械的未來，對基礎研究、製作工藝等各方面的發展做了闡述：此外，還介紹了國外對微型機器人才的培養情況。作為填補國內空缺的入門教材，《微型機械導論》的特點是：立足學科發展前沿，內容豐富多彩，深入淺出，通俗易懂，圖文並茂；信息量大，覆蓋面廣。
《微型機械導論》可作本學科本科教育教材和研究生的參考書，也可作為相關科技工作者、管理人員和其他感興趣讀者的參考咨料。
