場絕緣

一種半導體器件,其特徵在於,它包括:一塊半導體基片;一個形成在所述半導體基片上的元件隔離區;一個與所述半導體基片上的所述元件隔離區鄰近形成的擴散區;一層形成在所述元件隔離區上的第一導電膜,所述第一導電膜有一在所述元件隔離區之上基本上平坦的上表面;一層覆蓋所述擴散區和所述第一導電膜的夾層絕緣膜,所述夾層絕緣膜有一形成在其中的視窗,用以露出所述擴散區和部分所述第一導電膜;以及一層形成在所述夾層絕緣膜上並埋入所述視窗內用以與所述露出部分的所述第一導電膜和所述擴散層相連線的第二導電膜。

一種半導體器件,其特徵在於,它包括:一塊半導體基片;一個形成在所述半導體基片上的元件隔離區;一個與所述半導體基片上的所述元件隔離區鄰近形成的擴散區;一層形成在所述元件隔離區上的第一導電膜,所述第一導電膜有一在所述元件隔離區之上基本上平坦的上表面;一層覆蓋所述擴散區和所述第一導電膜的夾層絕緣膜,所述夾層絕緣膜有一形成在其中的視窗,用以露出所述擴散區和部分所述第一導電膜;以及一層形成在所述夾層絕緣膜上並埋入所述視窗內用以與所述露出部分的所述第一導電膜和所述擴散層相連線的第二導電膜。 

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