基本介紹
四甲基氫氧化銨(TMAOH)Tetramethylammonium hydroxideBeilstein 號:
危險等級:8級,屬第8.2類鹼性腐蝕品。
危規編碼:82019
聯合國編號:1835
中文名稱:四甲基氫氧化銨
英文名稱:Tetramethylammonium Hydroxide
英文別名:TMAH
CAS號:75-59-2
分子式:C4H13NO
分子量:91.15
等級:GR
MDL號:MFCD00008280
簡介:
無色結晶(常含三、五等結晶水),極易吸潮,有一定的氨氣味,具有強鹼性,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,形成碳酸鹽為有機強鹼,具有較強的腐蝕性。通常制10%、25%的水溶液,含5分子結晶水的四甲基氫氧化銨為無色潮解性針狀結晶,熔點63℃,沸點120℃,加熱到沸點時易分解成三甲胺和甲醇,比重1.00(25/4℃)。
指標:
項目 | 指標 |
外觀 | 白色針狀結晶 |
分子式 | (CH3)4NOH·5H2O |
純度(%) | ≥99.7 |
鹼含量(%) | ≥46.5 |
碳酸鹽(%) | ≤1.5 |
四甲基氫氧化銨的製法主要有加成法,沉澱法,電解法,離子膜法,離子膜電解法等。
物化性質
四甲基氫氧化銨 (75-59-2)性狀:沸點:110 °C密度:0.866 g/mL at 25 °C
蒸氣壓:17.5 mm Hg ( 20 °C)
折射率:n20/D 1.384
閃點:80 °F
儲存條件 2-8°C
穩定性:穩定的,易燃。不相容的是具有較強氧化劑,如強大的胺基酸。
用途
用途一:在有機矽方面,四甲基氫氧化銨作為二甲基矽油,氨基矽油,苯甲基矽油,有機矽擴散泵油,無溶劑有矽模塑膠,有機矽樹脂,矽橡膠等的催化劑;
在分析方面,四甲基氫氧化銨作為極譜試劑;
在產品提純方面作為無灰鹼用以沉澱許多金屬元素;
在有機矽片生產中常用作計算機矽片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。
在電路板的印刷和顯微鏡片的製造中,可作為積體電路板的清洗劑和半導體微加工技術中si-sio2界面的各向異性腐蝕劑。
用作CMP過程清洗劑,IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。
用途二:用作計算機矽片面的光亮劑、觸刻劑等
用途三:用作極譜分析試劑
優點:
四甲基氫氧化優點是:它具有強鹼性,在不超過分解點的溫度下穩定。當催化完畢後很容易除掉,不留任何殘渣。對有機矽產品無污染。因此又稱為“暫時催化劑”,在分析中可用於極譜試及用來沉澱不含灰份的許多元素的氫化物。
包裝:
塑膠瓶、塑膠桶。
工業上常用25%四甲基氫氧化銨溶液
工業級四甲基氫氧化銨(TMAH,25.0%)
描述 | 無色或淡黃色溶液 |
分子式: | (CH3)4NOH |
分子量: | 91.15 |
| | MIN | MAX |
規格 | 含量 % | 24.50 | 25.50 |
| 碳酸根 ppm | | 500 |
| 氯離子 ppm | | 10 |
| 甲醇 ppm | | 300 |
| 鈣 ppm | | 1 |
| 鐵 ppm | | 1 |
| 鉀 ppm | | 1 |
| 鎂 ppm | | 1 |
| 鈉 ppm | | 1 |
| 色度(APHA) | | 10 |
物理性能 | 形態 | 液體 |
| 沸點 C | 140.0 |
| 凝固點C | <-25.0 |
| 粘性25 C, cst | 2.8 |
| 比重 @ 60 F | 1.022 |
| 閃點 F | >200 |
| pH | >13 |
| 氣味 | 胺味 |