台式掃描電鏡（台式SEM）簡介
台式掃描電子顯微鏡（Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM）的概念是美國FEI公司（1997年原FEI和飛利浦電子光學合併而成)的，並與2006年正式發布了旗下的Phenom台式掃描電鏡，並於2009年成立Phenom-World公司，專業研發並生產台式掃描電鏡。相較於傳統大型SEM，台式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜，最大放大倍數在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測量不導電樣品等優勢。此類新型儀器的出現填補了光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛套用於材料科學、納米顆粒、生物醫學、紡織纖維、地質科學等諸多領域。台式掃描電鏡（台式SEM）設計背景
隨著科學研究與工業生產進入了納米領域，人們對顯微技術、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。光學顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由於可見光波長的限制，其放大倍數只能達到1000倍左右；傳統大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬倍，具有大景深，是當前材料科學、生物科學領域最常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經過嚴格培訓的操作人員，使用不便。
為了解決這一矛盾，美國FEI公司在2004年提出了台式掃描電鏡的概念。不同於傳統大型掃描電鏡，台式掃描電鏡是一種全新的設計，其結合了光學顯微鏡與傳統掃描電鏡的優點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統電鏡的幾分之一，逼近高端光學顯微鏡的價格。
台式掃描電鏡（台式SEM）組成
真空系統：一般採用機械泵與分子泵聯動電子槍：一般為LaB6（六硼化鑭）、CeB6（六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，LaB6、CeB6燈絲壽命超過1000小時，且亮度更高。目前尚沒有採用場發射（Field Emission）的台式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器：背散射電子或二次電子探測器
台式掃描電鏡（台式SEM）特點
放大倍數高（相對光學顯微鏡）大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
台式掃描電鏡（台式SEM）套用領域
調查表明接近90%的SEM圖片是在2萬倍以下拍攝的，因此台式掃描電鏡可以滿足絕大多數傳統SEM用戶的需求，其套用領域及其防範，包括：粉末；半導體；微電子；金像；製藥；造紙；生命科學 ……
