是將電晶體、二極體等有源元件和電阻器、電容器等無源元件,按照一定的電路互連,“集成”在一塊半導體單晶(主要是矽單晶)片上。它完成特定的電路或系統功能。這種積體電路與過去將各個電子元件分別封裝,然後裝配在一起的電路不同,不僅表現在外形體積上小,而且反映在製造工藝技術上,它的全部元件及其互連導線都在一系列特定工藝技術加工過程中完成。
有雙極型積體電路和MOS積體電路兩類
積體電路如果以構成它的電路基礎的電晶體來區分,有雙極型積體電路和MOS積體電路兩類。前者以雙極結型平面電晶體為主要器件(如圖2),後者以MOS場效應電晶體為基礎。圖3表示了典型的矽柵N溝道MOS積體電路的製造工藝過程。一般說來,雙極型積體電路優點是速度比較快,缺點是集成度較低,功耗較大;而MOS積體電路則由於MOS器件的自身隔離,工藝較簡單,集成度較高,功耗較低,缺點是速度較慢。近來在發揮各自優勢,克服自身缺點的發展中,已出現了各種新的器件和電路結構。
積體電路按電路功能分,可以有以門電路為基礎的數學邏輯電路和以放大器為基礎的線性電路。後者由於半導體襯底和工作元件之間存在著有害的相互作用,發展較前者慢。同時套用於微波的微波積體電路和從Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體雷射器和光纖維導管為基礎的光積體電路也正在發展之中。
半導體積體電路除以矽為基礎的材料外,砷化鎵也是重要的材料,以它為基礎材料製成的積體電路,其工作速度可比目前矽積體電路高一個數量級,有著廣闊的發展前景。
厚膜電路與薄膜電路
從整個積體電路範疇講,除半導體集成電路外,還有厚膜電路與薄膜電路。
①厚膜電路。以陶瓷為基片,用絲網印刷和燒結等工藝手段製備無源元件和互連導線,然後與電晶體、二極體和積體電路晶片以及分立電容等元件混合組裝而成。
②薄膜電路。有全膜和混合之分。所謂全膜電路,就是指構成一個完整電路所需的全部有源元件、無源元件和互連導體,皆用薄膜工藝在絕緣基片上製成。但由於膜式電晶體的性能差、壽命短,因此難以實際套用。所以目前所說的薄膜電路主要是指薄膜混合電路。它通過真空蒸發和濺射等薄膜工藝和光刻技術,用金屬、合金和氧化物等材料在微晶玻璃或陶瓷基片上製造電阻、電容和互連(薄膜厚度一般不超過1微米),然後與一片或多片電晶體器件和積體電路的晶片高密度混合組裝而成。
厚膜和薄膜電路與單片積體電路相比,各有特點,互為補充。厚膜電路主要套用於大功率領域;而薄膜電路則主要在高頻率、高精度方面發展其套用領域。目前,單片積體電路技術和混合積體電路技術的相互滲透和結合,發展特大規模和全功能積體電路系統,已成為積體電路發展的一個重要方向。
化合物半導體積體電路在移動通信領域的發展前景
化合物半導體積體電路產業目前一方面面臨著市場景氣欠佳的困難,另一方面同時又面臨著矽CMOS、BiCMOS的激烈競爭。化合物半導體積體電路產業的前景怎樣?這是業內外人士普遍關心的問題。
分析產業發展前景主要應考慮市場機遇。我們認為化合物半導體積體電路產業面臨著四個有利機遇。其中第一個機遇是移動通信技術正在不斷朝有利於化合物半導體積體電路的方向發展。目前二代半(2.5G)技術正在逐漸成為移動通信技術的主流,同時正在逐漸向第三代過渡。由於二代半技術對功放的效率和散熱有更高的要求,所以這對砷化鎵有利。三代技術要求更高的工作頻率,更寬的頻寬和高線性,這也是對砷化鎵和鍺矽技術有利的。目前第四代(4G)的概念已明確提出來了。四代技術對手機有更高要求。它要求手機在樓內可接入無線區域網路(WLAN),即可工作到2.4GHz和5.8GHz,在室外可在二代、二代半、三代等任意制式下工作。因此這是一種多功能、多頻段、多模式的移動終端。從系統小巧來說,當然會希望實現單晶片集成(SOC),但單一的矽技術無法在那么多功能和模式上都達到性能最優。要把各種最佳化性能的功能集成在一起,只能用系統級封裝(SIP),即在同一封裝中用矽、鍺矽、砷化鎵等不同工藝來最佳化實現不同功能,這就為砷化鎵和鍺矽的不斷發揮優勢帶來了新的機遇。
第二個機遇來自消費類電子,全球的Wi-Fi市場方興未艾,家用電子產品裝備無線控制和數據連線的比例越來越高,音視頻裝置日益無線化。再加上筆記本電腦的日益普及,這類產品的市場為鍺矽積體電路的套用帶來了新機遇。
第三個機遇來自新一代的光纖通信技術。儘管目前光纖通信市場非常蕭條,但新一代的40GBPS光通信設備不久肯定會開始裝備,10GBPS的光通信設備會代替原有的2.5GBPS設備投入大量使用。而這些設備中將大量使用磷化甸、砷化鎵、鍺矽等化合物半導體積體電路。
第四個機遇來自汽車電子,目前汽車防撞雷達已在很多高檔車上得到了實用,將來肯定會越來越普及。由於汽車防撞雷達一般工作在毫米波段,所以肯定離不開砷化鎵甚至磷化銦,它的中頻部分會用到鍺矽,由於全球汽車工業十分龐大,所以這是一個早晚必定會發生的巨大市場。
總之,化合物半導體積體電路產業的不斷發展是不容置疑的。中國大陸化合物半導體積體電路產業的建設和發展也只是個時間問題。