劉理天

劉理天

劉理天,教授,博導。 1947.6出生於南昌· 1970畢業於清華大學無線電電子學系。

基本信息

擔任職務

現任:

* 中國微米/ 納米學會常務理事

* 中國儀器儀表感測器學會常務理事

* 中國計量測試學會理事 * 中國電子學會高級會員

*《固體電子學研究進展》編委

*《感測技術學報》編委

*《儀表技術與感測器》編委

研究經歷

曾負責和承擔"八五"、"九五"、"十五"期間多項國家"科技攻關"、"攀登計畫"、"自然科學重大和重點基金"、"973計畫"、"863計畫"項目。這些任務都被很好完成,均已通過了國家驗收或鑑定。

研究方向

(1) 集成感測技術與器件

·矽微型加速度計

·矽集成壓力感測器

·集成磁場感測器

·矽微流量計

(2) 微電子機械系統 (MEMS)

·矽微型馬達

·矽微型泵

·矽微型麥克風

·鐵電--矽微器件

·矽微機械陀螺

·RF MEMS器件(射頻微機械開關、濾波器、天線、電感電容)

·微光機電器件(MOEMS)

(3) 矽生物晶片與技術

·微電子與分子生物學兼容技術

·DNA晶片技術(生物晶片技術)

(4) 新型微電子器件

·深亞微米MOS器件

·半導體低溫器件與電路

(5) 納米技術與納米器件

·納米製造技術、加工技術

·量子感測器

研究內容

劉理天 劉理天

·高頻功率電晶體  雙極型積體電路 (TTL)

·結型場效應器件(JFT)   EEPROM積體電路

·BiCMOS低溫器件與電路  深亞微米MOS器件

·微機械 (MEMS)器件  矽集成感測器

2) 近年來研究成果:在國內首先研製出以下器件:

·幾種新型矽集成感測器(壓力、溫度、紅外、磁場、加速度、等感測器)

·矽微靜電馬達

·矽集成微型泵

·矽微聲學器件(矽麥克風、超聲器件)

以上器件在結構上都具有創新,技術指標都達到國際先進水平

論文著作

在國內外重要學術期刊及學術會議上發表了260餘篇論文。SCI收錄80餘篇,EI收錄100餘篇,其中有若干篇被評為中國電子學會全國優秀論文。

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