擔任職務
現任:
* 中國微米/ 納米學會常務理事
* 中國儀器儀表感測器學會常務理事
* 中國計量測試學會理事 * 中國電子學會高級會員
*《固體電子學研究進展》編委
*《感測技術學報》編委
*《儀表技術與感測器》編委
研究經歷
曾負責和承擔"八五"、"九五"、"十五"期間多項國家"科技攻關"、"攀登計畫"、"自然科學重大和重點基金"、"973計畫"、"863計畫"項目。這些任務都被很好完成,均已通過了國家驗收或鑑定。
研究方向
(1) 集成感測技術與器件
·矽微型加速度計
·矽集成壓力感測器
·集成磁場感測器
·矽微流量計
(2) 微電子機械系統 (MEMS)
·矽微型馬達
·矽微型泵
·矽微型麥克風
·鐵電--矽微器件
·矽微機械陀螺
·RF MEMS器件(射頻微機械開關、濾波器、天線、電感電容)
·微光機電器件(MOEMS)
(3) 矽生物晶片與技術
·微電子與分子生物學兼容技術
·DNA晶片技術(生物晶片技術)
(4) 新型微電子器件
·深亞微米MOS器件
·半導體低溫器件與電路
(5) 納米技術與納米器件
·納米製造技術、加工技術
·量子感測器
研究內容
·高頻功率電晶體 雙極型積體電路 (TTL)
·結型場效應器件(JFT) EEPROM積體電路
·BiCMOS低溫器件與電路 深亞微米MOS器件
·微機械 (MEMS)器件 矽集成感測器
2) 近年來研究成果:在國內首先研製出以下器件:
·幾種新型矽集成感測器(壓力、溫度、紅外、磁場、加速度、等感測器)
·矽微靜電馬達
·矽集成微型泵
·矽微聲學器件(矽麥克風、超聲器件)
以上器件在結構上都具有創新,技術指標都達到國際先進水平
論文著作
在國內外重要學術期刊及學術會議上發表了260餘篇論文。SCI收錄80餘篇,EI收錄100餘篇,其中有若干篇被評為中國電子學會全國優秀論文。