凹溝MOSFET

凹溝MOSFET（Recessed-chann 凹溝MOSFET的結構見圖示，這種結構的MOSFET就是把柵極設定在刻蝕出來的凹溝里。 這種MOSFET的優點在於使等效的源和漏的結深減小，短溝道效應得以減弱。

凹溝MOSFET（Recessed-channel MOSFET ）：

凹溝MOSFET的結構

見圖示，這種結構的MOSFET就是把柵極設定在刻蝕出來的凹溝里。
這種MOSFET的優點在於使等效的源和漏的結深減小，短溝道效應得以減弱。
這種結構的缺點在於：對閾值電壓的控制比較困難（因為閾值電壓主要決定於A和B點處的形狀和層的厚度)，而且熱電子注入到SiO2中的可能性增加了（熱電子效應導致的失效率增大）。