背景
1894年，中國與日本因為朝鮮的主權問題而爆發甲午戰爭。次年4月17日中國清朝與日本簽訂“馬關條約”。清廷一方面承認朝鮮獨立；另一方面也將遼東半島、台灣全島及澎湖列島割讓予日本。5月17日，該條約生效，台灣與澎湖歸屬日本領土。5月21日，台灣總督府成立，樺山資紀成為第一代台灣總督。
這六位老師分別是：
山口縣，楫取道明，38歳
愛知縣，關口長太郎，37歳
群馬縣，中島長吉，25歳
東京都，桂金太郎，27歳
山口縣，井原順之助，23歳
熊本縣，平井數馬，17歳
經過
1895年7月12日，因應八芝蘭一帶文教氣息濃厚，台灣總督府學務部特地從大稻埕遷至芝山巖惠濟宮，並於該宮後殿開設芝山巖學堂招募國語傳習生。其中，國語即指日語，而傳習生任務即擔任推廣普及日語的責任。
伊澤修二與六氏先生開始招生至9月20日止，共招台灣本島人21名，分甲 、乙、丙三組，並於惠濟宮後殿內，由此六位老師對其21名傳習生教授日語。
1895年12月31日，6位就教於芝山岩學堂老師本想前往台北城內的台北總督府（今 台北公會堂（台北中山堂）附近）慶祝元旦，於中途遭遇台北城內動亂，於是返還回學校。不料，返回山上途中於山下遭遇到反日的台北數百鄉勇，並慘遭斬首殺害，史稱芝山岩事件。
該事件震驚日本政府，為免爾後招募老師與推廣日語工作困難，台灣總督府除了積極追捕涉案鄉勇外，也決定鄭重安葬六位罹難者。
碑文
1896年2月1日，台灣總督府將六位遇難老師骨灰安葬於芝山岩山頂的大樟樹處，並舉行盛大追思典禮。7月1日台灣總督府於芝山岩山頂設立“學務官僚遭難之碑”，並由日本首相伊藤博文親擬碑文及碑銘。該碑文為：“台灣全島歸我版圖，革故鼎新聲教為先，正王位等六人，帶學務派八芝蘭士林街專從其事，會土匪蜂起道明等，死之時明治廿九年一月一日也。內閣總理大臣大勛位族爵，伊藤博文書”
1903年，台灣總督府再設“台灣亡教育者招魂碑”與“故教育者姓名碑”於六氏墳墓附近，上面刻著包含六氏先生的所有在台亡故日本教師教育者之姓名。1929年，於六氏先生墓地原址附近設立的數十坪大的芝山岩神社落成，規定每年2月1日為該神社的例祭日。並將“六氏先生”塑造成全台灣日本教育者的精神中心，即所謂的芝山岩精神。
戰後
芝山岩神社舊址，紀念戴笠的雨農閱覽室1945年，二戰結束，日本戰敗，台灣進入中華民國時代。1950年代左右，該神社連同六氏先生骨灰，墳墓及相關碑文等文物，被悉數搗毀損壞。該神社原址興建紀念戴笠的雨農閱覽室。
1980年代，芝山岩從軍事管制區除名，眾多遭到破壞歷史文物受到重視。1995年，士林國小（原 芝山岩學堂）百年校慶時，特以一米餘的花崗石重新立六氏先生墓於芝山岩山頂的同歸所附近。2000年，台灣政府陸續將“學務官僚遭難之碑”、“台灣亡教育者招魂碑”、“故教育者姓名碑”等等其相關歷史等文物復原，豎立於雨農閱覽室附近。
2006年5月，報載台北市潘懷宗議員在議會提出有關“學務官僚遭難之碑”的質詢，建議與紀念同樣事件的“抗日紀念碑”並列，或是兩個碑都遷移至紀念館陳列。
