全精餾制氬

所謂全精餾制氬，即全部用精餾的方法除去氬餾分中的氧和氮。氧和氬的分離是在粗氬塔中完成的，為了降低粗氬塔的高度，一般採用二段精餾塔。含氬約為 9.18%的氬餾分經一段粗氬塔精餾後，氧含量降至約2.5%，繼續進入二段粗氬塔精餾，在二段粗氬塔頂得到含氧小於2PPm的粗氬氣（98.5%氬、 1.5%氮）。粗氬氣再進入精氬塔精餾，進行氬和氮的分離。在精氬塔底部得到含氧量小於2PPm、含氮量小於3PPm的液態純氬。