振子式光電顯微鏡 有透射式和反射式兩種。透射式用於玻璃線紋尺,反射式用於金屬線紋尺。圖1為反射式光電顯微鏡的工作原理。由金屬線紋尺反射回來的光成像在以一定頻率振動的半透反射鏡上,因此線紋像以相同頻率往復掃描狹縫。當線紋像的振幅中線與狹縫中線重合時,光電管輸出的電信號處於平衡狀態,指示表指針指零,表示已經瞄準。如不重合,可利用讀數鼓輪移動平行補償玻璃使其重合(圖中未表示),然後從讀數鼓輪讀出偏移量。這種原理的光電顯微鏡適用於線紋在靜止狀態下的瞄準,故又稱靜態光電顯微鏡。透射式光電顯微鏡的工作原理與反射式相同,但需要把光源和聚光鏡等移到線紋尺背面,並把半透反射鏡改為反射鏡。 差動光度式光電顯微鏡 也分為透射式和反射式兩種。圖2為差動光度式反射光電顯微鏡的工作原理。從線紋尺線紋面反射回來的光由半透反射鏡分為兩路,分別將線紋成像於1、2處。調整兩狹縫寬度使等於線紋寬度,且與線紋像的相對位置相差一個線紋寬度。當光電管1、2所接收的光通量相等時,指示表指零,表示已經瞄準。採用兩個狹縫和兩個光電管的原因是為了進行電信號的差值演算,以減小由於電源波動和線紋寬度不均等引起的瞄準誤差。這種光電顯微鏡瞄準速度快,適用於線紋在移動狀態下的自動瞄準,故又稱動態光電顯微鏡。
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