低溫碳氮共滲滲層深度常在0.5mm 以下,其中外表面的化合物層為0.01~0.02mm.大部分是Fe(C、N) 及FeN,幾乎沒有脆性的FeN。擴散層為FeN 及氮在α相中的固溶體,
低溫碳氮共滲常用溫度低於鐵氮狀態圖中的共析點(590℃),大多為520~ 570℃。在確定共滲工藝溫度時還應考慮預先熱處理的回火溫度。例如,高速鋼及高鉻工具鋼低溫碳然共滲溫度應較回火低5~ 10℃。如共滲溫度超過鐵氮共析溫度,其滲後在水中冷卻時於化合物層下出現含氮馬氏體。低溫碳氮共滲適用於硬化層、負荷較小而對變形要求嚴格的耐磨件及工、模具等,套用日趨廣泛。