OLYMPUS MX51

產品特性

● 緊湊的設計實現最小的占地空間
● 鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能
● 標配158X158mm手動移動載物台(最大可用於200mm晶圓檢查)
● 選配長工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查
● 採用防靜電設計,極大方便磁頭檢查
● 提高系統靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標準

技術規格

光學系統:UIS (無限遠矯正) 光學系統MX51 顯微鏡鏡體:Z軸同軸粗微調調焦，載物台行程範圍：32mm(從焦面上行2mm和下行30mm)行程相同：15mm(配合透射光照明)Z軸微調焦每旋轉一周的行程0.1mm(1個單位1μm)調焦機構張力可調有調焦上限位機構MX51 照明系統:BX-KMA明視場照明器BX-RLA2明視場/暗視場照明器BX-URA2萬能照明器MX51 透射照明:明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附屬檔案(MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用)