MEMS和微系統

內容介紹

微系統近年來迅速發展，在航天、汽車、生物技術、消費產品、國防、環境保護和安全、保障、製藥，以及遠程通信工業等方面都有廣泛的套用。本書對MEMS技術的基礎進行了深入的觀察，共分11章，介紹了微系統工程的發展，市場，產品，微系統所涉及的各工程學科的基礎知識、尺度效應、微系統工程的材料、微製造和微加工工藝及微系統的設計和封裝等內容。
本書可作為本科生或研究生課程的教材，還可以作為專業人士及相關人員了解MEMS參考書。