一.電子顯微探針分析
EMPA--Electron microprobe analysis
基本原理電子顯微探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面，用X射線分光譜儀測量其產生的特徵X射線的波長和強度。由於電子束照射面積很小，因而相應的X射線特徵譜線將反映出該微小區域內的元素種類及其含量。
利用特徵X射線波長來確定元素的叫做波譜儀(WDS），利用特徵X射線能量不同來展譜的就稱為能譜儀(EDS）。
利用電子顯微探針原理和技術來分析樣品的儀器。
儀器構造：主要由電子光學系統（鏡筒），X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。
1.電子光學系統
為了提高X射線的信號強度，電子探針必須採用較掃描電鏡更高的入射電子束流，常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分加裝光學顯微鏡，以選擇和確定分析點 。
2.X射線譜儀
電子束轟擊樣品表面將產生特徵X射線，不同的元素有不同的X射線特徵波長和能量。通過鑑別其特徵波長或特徵能量就可以確定所分析的元素。利用特徵波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀（波譜儀WDS），利用特徵能量的就稱為能量色散譜儀（能譜儀EDS）。
1.點分析：用於測定樣品上某個指定點的化學成分。
2.線分析：用於測定某種元素沿給定直線分布的情況。
將WDS、EDS固定在所要測量的某元素特徵X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線掃描，便可得到該元素沿直線特徵X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。
3.面分析：用於測定某種元素的面分布情況。
將WDS、EDS固定在信號位置上，電子束在樣品表面做二維光柵掃描，便可得到該元素的面分布圖像。
二.瑞士材料實驗所
EMPA-Eidgenossische Material-prufungsanstalt
三.歐洲金屬加工廠商協會
EMPA-European Metal Working Plantmakers Association
四.公共管理在職碩士
EMPA-Ex－ecative Master of Public Administration
