EL2中心

EL2中心是未摻Cr的GaAs中一種常見的深能級缺陷,它是施主型的複合點缺陷中心,實際上可能是兩個Ga空位與GaAs所組成的一種點缺陷。

性質:

影響:它能夠補償淺受主雜質,而使得GaAs呈現為半絕緣狀態;對材料性能的穩定性具有不良影響。

減小影響的措施:為了減小EL2這種缺陷中心,可在GaAs中適當地摻入一些Cr;但又為了避免過度摻Cr所帶來的其他不良影響,則可同時摻入少量的氧,以形成一些ELO中心來共同起補償作用。於是就發展出了一種既摻Cr又摻O的所謂雙摻雜技術。

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